Bu videoda IPG Photonics, 200 mm silikon (Si) gofretlerin yakın kızılötesi (NIR) lazer aydınlatmasına dayalı bir gofret ısıtma konseptini göstermektedir. Bulgularımız, wafer ısıtması için bir lazer çözümü kullanmanın cazip enerji ve döngü süresi tasarrufu sunduğunu göstermektedir.

Lazer ısıtmanın doğasında bulunan enerji tasarrufunun ötesinde, gösteride kullanılan lazer ekipmanı aracılığıyla ek verimlilik elde edilmektedir. IPG DLS-ECO yakın-IR diyot lazerleri, elektrikten yansıtılan ışığa en az %55 güç dönüşüm verimliliği sağlar. Yansıtılan bir lazer ışını, gofret çevresinin dışına enerji taşmasını en aza indirecek şekilde şekillendirilebilir ve böylece oda atmosferini ve duvarlarını ısıtmak için boşa harcanan enerji en aza indirilir.

Ayrıca lazer enerjisi, ısı kaynağının temiz odanın dışında kalmasını sağlayan uzun (50 m'ye kadar) bir fiber üzerinden iletilir. Hedeflenen gofret yüzeyi dışında prosesin yakınında kayda değer bir ısı üretilmediğinden, lazer ısıtıcılar temiz oda tesisatlarına önemli ölçüde daha az yük bindirir.

Silikon gofretlere yönelik çok bölgeli spot ısıtma konsepti hakkında daha fazla bilgi edinmek için sürecin animasyonlu bir gösterimini buradan görüntüleyebilirsiniz.

Bir lazer ısıtma uzmanından daha fazla bilgi almak için lütfen bizimle iletişime geçin.