IPG Görüntü

IPG Photonics Silikon Waferlar için Sürdürülebilir, Uygun Maliyetli Lazer Isıtıcı Geliştirdi

IPG Photonics, yarı iletken üreticileri için silikon gofret ısıtma sürecini iyileştirmek üzere tasarlanmış yeni bir lazer teknolojisi geliştirdi. Çok sayıda endüstride çeşitli süreçler için önemli faydalar sağlayan lazerle ısıtma, nispeten geniş alanları eşit şekilde ısıtmak için odaklanmış veya yansıtılmış lazer ışınlarıyla malzemeyi hedef alır.

The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.

DLS-ECO lazer ısıtma kaynakları %55 elektrik-optik dönüşüm verimliliğinde çalışarak enerji tüketimini en aza indirir. Optik enerji, optik fiber aracılığıyla iletilir ve lazer kaynağının soğutma suyu gibi hizmetlerin kolayca sağlandığı temiz oda ortamının dışında çalışmasına olanak tanır. Silikon gofret ısıtma çözümünün en az yedi yıl boyunca kesintisiz ve bakım gerektirmeyen bir çalışma sunması beklenmektedir.

Diyot lazerlerin yonga plakası ısıtmada nasıl ideal bir çözüm olduğu hakkında daha fazla bilgi edinmek için Silicon Semiconductor dergisindeki makalenin tamamını okumak üzere buraya tıklayın.

IPG Photonics Hakkında
IPG Photonics Corporation, öncelikle malzeme işleme ve diğer çeşitli uygulamalarda kullanılan yüksek güçlü fiber lazerler ve amplifikatörlerde liderdir. Şirketin misyonu, fiber lazer teknolojisini seri üretimde tercih edilen bir araç haline getirmektir. IPG bu misyonu, diğer lazer türlerine ve lazer olmayan araçlara kıyasla daha düşük bir toplam sahip olma maliyetiyle üstün performans, güvenilirlik ve kullanılabilirlik sunarak gerçekleştirir ve son kullanıcıların üretkenliği artırmasına ve maliyetleri düşürmesine olanak tanır. IPG'nin merkezi Marlborough, Massachusetts'tedir ve dünya çapında 30'dan fazla tesisi bulunmaktadır.
 

 

Lazerle ısıtılmış silikon yonga plakasıLazerle 800°C'ye ısıtılan 200 mm'lik silikon levhanın görünür ışık görüntüsü.