En este vídeo, IPG Photonics demuestra un concepto de calentamiento de obleas basado en la iluminación láser en el infrarrojo cercano (NIR) de obleas de silicio (Si) de 200 mm. Nuestros hallazgos sugieren que el uso de una solución láser para el calentamiento de obleas ofrece atractivos ahorros de energía y tiempo de ciclo.

Además del ahorro de energía inherente al calentamiento por láser, el equipo láser utilizado en la demostración ofrece una eficiencia adicional. Los láseres de diodo IPG DLS-ECO de infrarrojo cercano ofrecen al menos un 55% de eficiencia en la conversión de energía eléctrica en luz proyectada. Un rayo láser proyectado puede moldearse para minimizar el desbordamiento de energía fuera del perímetro de la oblea, reduciendo al mínimo la energía que de otro modo se desperdiciaría calentando la atmósfera y las paredes de la cámara.

Además, la energía láser se suministra a través de una fibra de gran longitud (hasta 50 m) que permite que la fuente de calor permanezca fuera de la sala blanca. Dado que no se genera un calor considerable cerca del proceso, excepto en la superficie de la oblea, los calentadores láser suponen una carga significativamente menor para los servicios de la sala limpia.

Para obtener más información sobre el concepto de calentamiento puntual multizona para obleas de silicio, puede ver una representación animada del proceso aquí.

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