SEMICON West 2024

IPG vystavuje udržitelný, nákladově efektivní ohřev křemíkových destiček laserem 

Společnost IPG Photonics (stánek 5338) oznamuje vytvoření vysoce účinné, spolehlivé a udržitelné laserové technologie založené na své špičkové platformě ohřívače DLS-ECO, která dokáže snížit spotřebu energie i náklady na údržbu při ohřevu křemíkových destiček. Záření DLS-ECO o vlnové délce 970 nm je účinně a přímo absorbováno křemíkovou destičkou, takže se do okolní komory ztrácí jen málo energie.

Simulations and experimental data show that <20kW of optical energy is required to heat a 300mm silicon wafer to 800°C in under 10sec, while <15kW of power is needed to maintain that high temperature. The optical energy is delivered by optical fiber, enabling the laser chassis to operate outside of the cleanroom environment where utilities such as cooling wafer are easily provided. The DLS-ECO operates at 55% electrical-to-optical conversion efficiency, minimizing total energy consumption by the process, while maintenance-free operation is anticipated for at least a seven year, uninterrupted period of operation.

Jako technicky vyspělé řešení ohřevu, které je schopno řešit náklady na energii i údržbu ohřevu křemíkových destiček, nabízí ohřívač destiček DLS-ECO včasné řešení pro udržitelnou výrobu destiček budoucnosti.