Imagem de luz visível de uma pastilha de silício de 200 mm aquecida a 800°C por laser.
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IPG Photonics desenvolve aquecedor a laser sustentável e econômico para pastilhas de silício
A IPG Photonics desenvolveu uma nova tecnologia a laser projetada para aprimorar o processo de aquecimento de wafer de silício para fabricantes de semicondutores. O aquecimento a laser, que demonstrou benefícios significativos para uma variedade de processos em vários setores, tem como alvo o material com feixes de laser focalizados ou projetados para aquecer uniformemente áreas comparativamente grandes.
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
As fontes de aquecimento a laser DLS-ECO operam com eficiência de conversão elétrica para óptica de 55%, minimizando o consumo de energia. A energia óptica é fornecida por meio de fibra óptica, permitindo que a fonte de laser opere fora do ambiente de sala limpa, onde utilitários como água de resfriamento são facilmente fornecidos. Prevê-se que a solução de aquecimento de wafer de silício ofereça uma operação livre de manutenção por pelo menos sete anos de operação ininterrupta.
Para saber mais sobre como os lasers de diodo são a solução ideal para o aquecimento de wafer, clique aqui para ler o artigo completo da revista Silicon Semiconductor.
Sobre a IPG Photonics
A IPG Photonics Corporation é líder em lasers e amplificadores de fibra de alta potência usados principalmente no processamento de materiais e em outras aplicações diversas. A missão da empresa é tornar sua tecnologia de laser de fibra a ferramenta preferida na produção em massa. A IPG cumpre essa missão oferecendo desempenho superior, confiabilidade e facilidade de uso a um custo total de propriedade mais baixo em comparação com outros tipos de lasers e ferramentas não laser, permitindo que os usuários finais aumentem a produtividade e reduzam os custos. A IPG está sediada em Marlborough, Massachusetts, e tem mais de 30 instalações em todo o mundo.
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
As fontes de aquecimento a laser DLS-ECO operam com eficiência de conversão elétrica para óptica de 55%, minimizando o consumo de energia. A energia óptica é fornecida por meio de fibra óptica, permitindo que a fonte de laser opere fora do ambiente de sala limpa, onde utilitários como água de resfriamento são facilmente fornecidos. Prevê-se que a solução de aquecimento de wafer de silício ofereça uma operação livre de manutenção por pelo menos sete anos de operação ininterrupta.
Para saber mais sobre como os lasers de diodo são a solução ideal para o aquecimento de wafer, clique aqui para ler o artigo completo da revista Silicon Semiconductor.
Sobre a IPG Photonics
A IPG Photonics Corporation é líder em lasers e amplificadores de fibra de alta potência usados principalmente no processamento de materiais e em outras aplicações diversas. A missão da empresa é tornar sua tecnologia de laser de fibra a ferramenta preferida na produção em massa. A IPG cumpre essa missão oferecendo desempenho superior, confiabilidade e facilidade de uso a um custo total de propriedade mais baixo em comparação com outros tipos de lasers e ferramentas não laser, permitindo que os usuários finais aumentem a produtividade e reduzam os custos. A IPG está sediada em Marlborough, Massachusetts, e tem mais de 30 instalações em todo o mundo.