200mm waffer zahřátý laserem na 800 °C ve viditelném světle.
Společnost IPG Photonics vyvinula udržitelný a nákladově efektivní laserový ohřívač křemíkových waferů
Společnost IPG Photonics vyvinula novou laserovou technologii, která má zlepšit proces ohřevu křemíkových waferů pro výrobce polovodičů. Laserový ohřev, který prokázal významné výhody pro řadu procesů v mnoha průmyslových odvětvích, se zaměřuje na materiál pomocí fokusovaných nebo promítaných laserových paprsků a rovnoměrně ohřívá velké plochy.
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
Laserové zdroje DLS-ECO pracují s 55% účinností konverze elektrické energie na optickou, což minimalizuje spotřebu energie. Optická energie je dodávána prostřednictvím optického vlákna, což umožňuje provoz laserového zdroje mimo prostředí čistých prostor, kde lze snadno zajistit inženýrské sítě, jako je chladicí voda. Řešení pro ohřev waferů bude nabízet bezúdržbový provoz po dobu nejméně sedmi let nepřetržitého provozu.
Chcete-li se dozvědět více o tom, jak jsou diodové lasery ideálním řešením pro ohřev waferů, klikněte zde a přečtěte si celý článek z časopisu Silicon Semiconductor.
O společnosti IPG Photonics
Společnost IPG Photonics Corporation je lídrem v oblasti vysoce výkonných vláknových laserů a zesilovačů používaných především při zpracování materiálů a v dalších aplikacích. Posláním společnosti je, aby se její technologie vláknových laserů stala nástrojem volby v hromadné výrobě. IPG tohoto poslání dosahuje tím, že poskytuje vynikající výkon, spolehlivost a použitelnost při nižších celkových nákladech na vlastnictví ve srovnání s jinými typy laserů a jiných nástrojů, což umožňuje koncovým uživatelům zvýšit produktivitu a snížit náklady. Společnost IPG sídlí v Marlborough ve státě Massachusetts a má více než 30 závodů po celém světě.
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
Laserové zdroje DLS-ECO pracují s 55% účinností konverze elektrické energie na optickou, což minimalizuje spotřebu energie. Optická energie je dodávána prostřednictvím optického vlákna, což umožňuje provoz laserového zdroje mimo prostředí čistých prostor, kde lze snadno zajistit inženýrské sítě, jako je chladicí voda. Řešení pro ohřev waferů bude nabízet bezúdržbový provoz po dobu nejméně sedmi let nepřetržitého provozu.
Chcete-li se dozvědět více o tom, jak jsou diodové lasery ideálním řešením pro ohřev waferů, klikněte zde a přečtěte si celý článek z časopisu Silicon Semiconductor.
O společnosti IPG Photonics
Společnost IPG Photonics Corporation je lídrem v oblasti vysoce výkonných vláknových laserů a zesilovačů používaných především při zpracování materiálů a v dalších aplikacích. Posláním společnosti je, aby se její technologie vláknových laserů stala nástrojem volby v hromadné výrobě. IPG tohoto poslání dosahuje tím, že poskytuje vynikající výkon, spolehlivost a použitelnost při nižších celkových nákladech na vlastnictví ve srovnání s jinými typy laserů a jiných nástrojů, což umožňuje koncovým uživatelům zvýšit produktivitu a snížit náklady. Společnost IPG sídlí v Marlborough ve státě Massachusetts a má více než 30 závodů po celém světě.