Hogere precisie en resolutie

Kortere golflengtes bieden minder diffractie-effecten waardoor ze kunnen worden gericht op een kleinere spot dan mogelijk is met lasers met een langere golflengte. In principe wordt de diffractielimiet beschreven door het Rayleigh-criterium, dat stelt dat de minimaal oplosbare spotgrootte ongeveer gelijk is aan de helft van de golflengte van de bundel. Kleinere spots maken een hogere ruimtelijke resolutie mogelijk in toepassingen die maximale precisie vereisen, van microprocessing tot microscopie.

Verbeterde absorptie

De hogere fotonische energie van UV-licht wordt sterk geabsorbeerd in een ondiep oppervlak van het bulkmateriaal. Diep UV-pulsen met hoge energie verhitten plaatselijk een sub-micronlaag van het bulkmateriaal, waarbij het materiaal op molerculair of atomair niveau wordt opgewekt of geïoniseerd. Bij voldoende hoge energiedichtheden wordt een groot deel van de warmte uit het doelwit afgevoerd in het plasma dat door het proces wordt gegenereerd. Dit proces, dat bekend staat als foto-ablatie, is verantwoordelijk voor gereduceerde hitte beïnvloede zones die negatieve warmte-effecten zoals onbedoeld smelten en barsten vrijwel elimineren. Voor veel materialen, met name transparante of warmtegevoelige materialen, zijn kortere golflengtes nodig om de absorptie te verkrijgen die nodig is voor hoogwaardige resultaten.