Imagen de luz visible de una oblea de silicio de 200 mm calentada a 800°C por láser.
IPG Photonics desarrolla un calentador láser sostenible y rentable para obleas de silicio
IPG Photonics ha desarrollado una nueva tecnología láser diseñada para mejorar el proceso de calentamiento de obleas de silicio para fabricantes de semiconductores. El calentamiento por láser, que ha demostrado importantes ventajas en diversos procesos de numerosos sectores, se dirige al material con rayos láser focalizados o proyectados para calentar uniformemente zonas comparativamente grandes.
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
Las fuentes de calor láser DLS-ECO funcionan con una eficiencia de conversión eléctrica-óptica del 55%, lo que minimiza el consumo de energía. La energía óptica se suministra a través de fibra óptica, lo que permite que la fuente láser funcione fuera del entorno de la sala limpia, donde se pueden suministrar fácilmente servicios como el agua de refrigeración. Se prevé que la solución de calentamiento de obleas de silicio funcione sin mantenimiento durante al menos siete años de funcionamiento ininterrumpido.
Para saber más sobre cómo los láseres de diodo son la solución ideal para el calentamiento de obleas, haga clic aquí para leer el artículo completo de la revista Silicon Semiconductor.
Acerca de IPG Photonics
IPG Photonics Corporation es líder en láseres de fibra de alta potencia y amplificadores utilizados principalmente en el procesamiento de materiales y otras aplicaciones diversas. La misión de la empresa es convertir su tecnología láser de fibra en la herramienta preferida para la producción en masa. IPG cumple esta misión ofreciendo un rendimiento, una fiabilidad y una facilidad de uso superiores a un coste total de propiedad inferior en comparación con otros tipos de láser y herramientas no láser, lo que permite a los usuarios finales aumentar la productividad y reducir los costes. IPG tiene su sede en Marlborough, Massachusetts, y cuenta con más de 30 instalaciones en todo el mundo.
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
Las fuentes de calor láser DLS-ECO funcionan con una eficiencia de conversión eléctrica-óptica del 55%, lo que minimiza el consumo de energía. La energía óptica se suministra a través de fibra óptica, lo que permite que la fuente láser funcione fuera del entorno de la sala limpia, donde se pueden suministrar fácilmente servicios como el agua de refrigeración. Se prevé que la solución de calentamiento de obleas de silicio funcione sin mantenimiento durante al menos siete años de funcionamiento ininterrumpido.
Para saber más sobre cómo los láseres de diodo son la solución ideal para el calentamiento de obleas, haga clic aquí para leer el artículo completo de la revista Silicon Semiconductor.
Acerca de IPG Photonics
IPG Photonics Corporation es líder en láseres de fibra de alta potencia y amplificadores utilizados principalmente en el procesamiento de materiales y otras aplicaciones diversas. La misión de la empresa es convertir su tecnología láser de fibra en la herramienta preferida para la producción en masa. IPG cumple esta misión ofreciendo un rendimiento, una fiabilidad y una facilidad de uso superiores a un coste total de propiedad inferior en comparación con otros tipos de láser y herramientas no láser, lo que permite a los usuarios finales aumentar la productividad y reducir los costes. IPG tiene su sede en Marlborough, Massachusetts, y cuenta con más de 30 instalaciones en todo el mundo.