Zichtbaar lichtbeeld van 200 mm silicium wafer verwarmd tot 800°C met laser.
IPG Photonics ontwikkelt duurzame, rendabele laserverwarming voor siliciumwafers
IPG Photonics heeft een nieuwe lasertechnologie ontwikkeld om het verhittingsproces van silicium wafers voor halfgeleiderfabrikanten te verbeteren. Laserverwarming, waarvan is aangetoond dat het aanzienlijke voordelen biedt voor een groot aantal processen in verschillende industrieën, richt zich op materiaal met gerichte of geprojecteerde laserstralen om relatief grote oppervlakken gelijkmatig te verwarmen.
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
DLS-ECO laserverwarmingsbronnen werken met een elektrische-naar-optische conversie-efficiëntie van 55%, waardoor het energieverbruik minimaal is. De optische energie wordt geleverd via optische vezels, waardoor de laserbron buiten de cleanroomomgeving kan werken, waar voorzieningen zoals koelwater gemakkelijk beschikbaar zijn. De oplossing voor het verwarmen van silicium wafers zal naar verwachting onderhoudsvrij zijn en minstens zeven jaar ononderbroken werken.
Voor meer informatie over hoe diodelasers de ideale oplossing zijn voor het verwarmen van wafers, klikt u hier om het volledige artikel van Silicon Semiconductor magazine te lezen.
Over IPG Fotonica
IPG Photonics Corporation is de leider in vezellasers en -versterkers met hoog vermogen die voornamelijk worden gebruikt bij materiaalbewerking en andere uiteenlopende toepassingen. De missie van het bedrijf is om van haar fiberlasertechnologie het gereedschap bij uitstek te maken voor massaproductie. IPG vervult deze missie door superieure prestaties, betrouwbaarheid en bruikbaarheid te leveren tegen lagere totale eigendomskosten in vergelijking met andere soorten lasers en niet-lasergereedschappen, waardoor eindgebruikers hun productiviteit kunnen verhogen en kosten kunnen verlagen. IPG heeft zijn hoofdkantoor in Marlborough, Massachusetts en heeft wereldwijd meer dan 30 vestigingen.
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
DLS-ECO laserverwarmingsbronnen werken met een elektrische-naar-optische conversie-efficiëntie van 55%, waardoor het energieverbruik minimaal is. De optische energie wordt geleverd via optische vezels, waardoor de laserbron buiten de cleanroomomgeving kan werken, waar voorzieningen zoals koelwater gemakkelijk beschikbaar zijn. De oplossing voor het verwarmen van silicium wafers zal naar verwachting onderhoudsvrij zijn en minstens zeven jaar ononderbroken werken.
Voor meer informatie over hoe diodelasers de ideale oplossing zijn voor het verwarmen van wafers, klikt u hier om het volledige artikel van Silicon Semiconductor magazine te lezen.
Over IPG Fotonica
IPG Photonics Corporation is de leider in vezellasers en -versterkers met hoog vermogen die voornamelijk worden gebruikt bij materiaalbewerking en andere uiteenlopende toepassingen. De missie van het bedrijf is om van haar fiberlasertechnologie het gereedschap bij uitstek te maken voor massaproductie. IPG vervult deze missie door superieure prestaties, betrouwbaarheid en bruikbaarheid te leveren tegen lagere totale eigendomskosten in vergelijking met andere soorten lasers en niet-lasergereedschappen, waardoor eindgebruikers hun productiviteit kunnen verhogen en kosten kunnen verlagen. IPG heeft zijn hoofdkantoor in Marlborough, Massachusetts en heeft wereldwijd meer dan 30 vestigingen.