Diodelasers hebben zich ontpopt als een duurzame en efficiënte oplossing voor het verwarmen van wafers en bieden chipfabrikanten de mogelijkheid om hun productie te optimaliseren. Net als verwarmers met infraroodlampen maken laserverwarmers gebruik van infrarood licht, maar laserverwarmers bieden aanzienlijke voordelen doordat ze de doeltemperatuur sneller bereiken, een uitstekende uniformiteit bieden, het energieverbruik verlagen en vrijwel geen energie verspillen aan het verwarmen van de omringende kamer of atmosfeer.

Experimenten met een diodelaser met een golflengte van 975 nm hebben aangetoond dat het mogelijk is om een silicium wafer van 200 mm in minder dan 9 seconden op te warmen tot 800 °C, terwijl de temperatuur tijdens het verwarmingsproces constant blijft. Het empirische model van de studie suggereert dat deze technologie effectief kan worden opgeschaald naar grotere wafers van 300 mm, wat een overtuigend argument is voor diodelaserverwarming als oplossing voor het verwarmen van wafers.

Voor meer informatie over hoe diodelasers de ideale oplossing zijn voor het verwarmen van wafers, klik hier om het volledige artikel van Silicon Semiconductor magazine te lezen.