In deze video demonstreert IPG Photonics een concept voor waferverwarming op basis van nabij-infrarood (NIR) laserbelichting van 200 mm silicium (Si) wafers. Onze bevindingen suggereren dat het gebruik van een laseroplossing voor waferverwarming aantrekkelijke energie- en cyclustijdbesparingen oplevert.

Naast de energiebesparingen die inherent zijn aan laserverwarming, wordt er extra efficiëntie gerealiseerd via de laserapparatuur die in de demonstratie wordt gebruikt. IPG DLS-ECO nabij IR diodelasers bieden een energieomzettingsefficiëntie van minstens 55% van elektriciteit naar geprojecteerd licht. Een geprojecteerde laserstraal kan zo gevormd worden dat er zo min mogelijk energie buiten de omtrek van de wafer terecht komt, waardoor er minder energie verloren gaat aan het verwarmen van de atmosfeer en de wanden van de kamer.

Bovendien wordt laserenergie geleverd over een lange afstand (tot 50 m) fiber waardoor de warmtebron buiten de cleanroom kan blijven. Omdat er geen aanzienlijke hitte wordt gegenereerd in de buurt van het proces, behalve op het beoogde waferoppervlak, belasten laserverwarmers de cleanroomvoorzieningen aanzienlijk minder.

Om meer te weten te komen over het concept van meerzonepuntverwarming voor siliciumwafers, kunt u hier een animatie van het proces bekijken.

Neem contact met ons op voor meer informatie van een laserverwarmingsexpert.