Los láseres de diodo han surgido como una solución sostenible y eficiente para el calentamiento de obleas, ofreciendo a los fabricantes de chips la oportunidad de optimizar su producción. Al igual que las lámparas de infrarrojos, los calentadores láser utilizan luz infrarroja, pero ofrecen ventajas significativas: alcanzan más rápidamente la temperatura deseada, ofrecen una uniformidad excelente, reducen el consumo de energía y prácticamente no desperdician energía calentando la cámara o la atmósfera circundantes.

Los experimentos con un láser de diodo de 975 nm de longitud de onda han demostrado la capacidad de calentar una oblea de silicio de 200 mm a 800 °C en menos de 9 segundos, manteniendo temperaturas estables durante todo el proceso de calentamiento. El modelo empírico del estudio sugiere que esta tecnología puede ampliarse eficazmente a obleas mayores de 300 mm, lo que supone un argumento convincente a favor del calentamiento por láser de diodo como solución de calentamiento de obleas.

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