W tym filmie IPG Photonics demonstruje koncepcję ogrzewania wafli w oparciu o oświetlenie laserowe w bliskiej podczerwieni (NIR) wafli krzemowych (Si) o średnicy 200 mm. Nasze odkrycia sugerują, że zastosowanie rozwiązania laserowego do podgrzewania płytek oferuje atrakcyjne oszczędności energii i czasu cyklu.

Oprócz oszczędności energii związanych z ogrzewaniem laserowym, dodatkowa wydajność jest osiągana dzięki sprzętowi laserowemu używanemu w demonstracji. Lasery diodowe IPG DLS-ECO bliskiej podczerwieni zapewniają co najmniej 55% sprawność konwersji mocy z energii elektrycznej na emitowane światło. Rzutowana wiązka laserowa może być kształtowana w celu zminimalizowania wycieku energii poza obwód płytki, minimalizując marnowanie energii na ogrzewanie atmosfery i ścian komory.

Dodatkowo, energia lasera jest dostarczana na dużej długości (do 50 m) włóknowy , co pozwala źródłu ciepła pozostać poza pomieszczeniem czystym. Ponieważ w pobliżu procesu nie jest generowane znaczne ciepło, z wyjątkiem docelowej powierzchni wafla, nagrzewnice laserowe znacznie zmniejszają obciążenie mediów w pomieszczeniach czystych.

Aby dowiedzieć się więcej o koncepcji wielostrefowego ogrzewania punktowego wafli krzemowych, można obejrzeć animowaną prezentację procesu tutaj.

Aby dowiedzieć się więcej od eksperta w dziedzinie ogrzewania laserowego, skontaktuj się z nami.