Lasery diodowe pojawiły się jako zrównoważone i wydajne rozwiązanie do ogrzewania płytek, zapewniając producentom chipów możliwość optymalizacji produkcji. Podobnie jak promienniki podczerwieni, promienniki laserowe wykorzystują światło podczerwone - jednak promienniki laserowe oferują znaczące korzyści dzięki szybszemu osiąganiu docelowych temperatur, zapewniając doskonałą jednorodność, zmniejszając zużycie energii i praktycznie nie marnując energii na ogrzewanie otaczającej komory lub atmosfery.

Eksperymenty z laserem diodowym o długości fali 975 nm wykazały zdolność do podgrzania wafla krzemowego o średnicy 200 mm do 800°C w czasie poniżej 9 sekund, przy jednoczesnym utrzymaniu stałej temperatury podczas całego procesu podgrzewania. Model empiryczny badania sugeruje, że technologia ta może być skutecznie skalowana do większych wafli 300 mm, przedstawiając przekonujące argumenty za ogrzewaniem laserem diodowym jako rozwiązaniem do ogrzewania wafli.

Aby dowiedzieć się więcej o tym, jak lasery diodowe są idealnym rozwiązaniem do podgrzewania płytek, kliknij tutaj, aby przeczytać cały artykuł z magazynu Silicon Semiconductor.