SEMICON West 2024

IPG prezentuje zrównoważony, ekonomiczny laserowy podgrzewacz wafli krzemowych 

IPG Photonics (stoisko 5338) ogłasza stworzenie wysoce wydajnej, niezawodnej i zrównoważonej technologii laserowej, opartej na wiodącej na rynku platformie grzejnej DLS-ECO, która jest w stanie obniżyć zarówno zużycie energii, jak i koszty utrzymania ogrzewania wafla krzemowego. Promieniowanie DLS-ECO o długości fali 970 nm jest skutecznie i bezpośrednio pochłaniane przez wafel krzemowy, dzięki czemu niewielka ilość energii jest tracona do otaczającej komory.

Simulations and experimental data show that <20kW of optical energy is required to heat a 300mm silicon wafer to 800°C in under 10sec, while <15kW of power is needed to maintain that high temperature. The optical energy is delivered by optical fiber, enabling the laser chassis to operate outside of the cleanroom environment where utilities such as cooling wafer are easily provided. The DLS-ECO operates at 55% electrical-to-optical conversion efficiency, minimizing total energy consumption by the process, while maintenance-free operation is anticipated for at least a seven year, uninterrupted period of operation.

Jako dojrzałe technicznie rozwiązanie grzewcze, które jest w stanie sprostać zarówno kosztom energii, jak i konserwacji ogrzewania wafli krzemowych, podgrzewacz wafli DLS-ECO oferuje aktualne rozwiązanie dla zrównoważonej fabryki wafli przyszłości.