SEMICON West 2024

IPG zeigt nachhaltige, kosteneffiziente Silizium-Wafer-Heizung per Laser 

IPG Photonics (Stand 5338) kündigt die Entwicklung einer hocheffizienten, zuverlässigen und nachhaltigen Lasertechnologie an, die auf seiner marktführenden DLS-ECO-Heizerplattform basiert und sowohl den Energieverbrauch als auch die Wartungskosten für die Erwärmung eines Silizium-Wafers senken kann. Die 970nm DLS-ECO-Strahlung wird effizient und direkt vom Siliziumwafer absorbiert, so dass nur wenig Energie an die umgebende Kammer verloren geht.

Simulations and experimental data show that <20kW of optical energy is required to heat a 300mm silicon wafer to 800°C in under 10sec, while <15kW of power is needed to maintain that high temperature. The optical energy is delivered by optical fiber, enabling the laser chassis to operate outside of the cleanroom environment where utilities such as cooling wafer are easily provided. The DLS-ECO operates at 55% electrical-to-optical conversion efficiency, minimizing total energy consumption by the process, while maintenance-free operation is anticipated for at least a seven year, uninterrupted period of operation.

Als technisch ausgereifte Heizlösung, die in der Lage ist, sowohl die Energie- als auch die Wartungskosten für die Beheizung von Siliziumwafern zu senken, bietet die DLS-ECO-Waferheizung eine zeitgemäße Lösung für die nachhaltige Waferfertigung der Zukunft.