Der Begriff "Deep-UV" bezieht sich in der Regel auf ultraviolette Laserwellenlängen, die kürzer als 300 Nanometer (nm) sind. Faserlaser, die mit Infrarotstrahlen (~1000 nm) beginnen, erreichen tiefe UV-Wellenlängen durch einen Prozess, der als Wellenlängen- oder Frequenzverdopplung bekannt ist. Durch Fokussierung des infraroten Laserstrahls durch einen nichtlinearen Kristall wird die Wellenlänge für die Erzeugung der zweiten Harmonischen genau halbiert. Durch Wiederholung des Prozesses wird die Wellenlänge erneut halbiert und der Bereich der Faserlaser auf die vierte Harmonische erweitert.
Laser im tiefen UV bieten im Vergleich zu den üblicherweise verwendeten Lasern im Infrarot- und sichtbaren Wellenlängenbereich entscheidende Vorteile für bestimmte Anwendungen. In Verbindung mit einer zuverlässigeren und einfacher zu integrierenden Faserlaserarchitektur hat sich die tiefe UV-Wellenlänge in einer Vielzahl von Branchen durchgesetzt. Deep-UV-Laser spielen eine entscheidende Rolle in einer Reihe von Anwendungen, wo sie für die Mikrobearbeitung, die Halbleiterfertigung und fortschrittliche oder wissenschaftliche Anwendungen eingesetzt werden.
