Dans cette vidéo, IPG Photonics présente un concept de chauffage de plaquettes basé sur l'illumination laser dans le proche infrarouge (NIR) de plaquettes de silicium (Si) de 200 mm. Nos résultats suggèrent que l'utilisation d'une solution laser pour le chauffage des plaquettes permet de réaliser des économies d'énergie et de temps de cycle intéressantes.

Outre les économies d'énergie inhérentes au chauffage laser, l'équipement laser utilisé pour la démonstration permet d'obtenir une efficacité supplémentaire. Les lasers à diode IPG DLS-ECO dans le proche infrarouge offrent une efficacité de conversion de l'électricité en lumière projetée d'au moins 55 %. Un faisceau laser projeté peut être façonné pour minimiser le débordement d'énergie en dehors du périmètre de la plaquette, minimisant ainsi l'énergie gaspillée pour chauffer l'atmosphère et les parois de la chambre.

En outre, l'énergie laser est délivrée par une fibre longue (jusqu'à 50 m) qui permet à la source de chaleur de rester à l'extérieur de la salle blanche. Étant donné qu'aucune chaleur considérable n'est générée à proximité du processus, à l'exception de la surface ciblée de la plaquette, les réchauffeurs laser réduisent considérablement la charge sur les utilités de la salle blanche.

Pour en savoir plus sur le concept de chauffage ponctuel multizone pour les plaquettes de silicium, vous pouvez visualiser une représentation animée du processus ici.

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