Dans cette vidéo, IPG Photonics présente un concept de chauffage laser utilisant une approche de zone de chauffage flexible. Certains procédés nécessitent un apport d'énergie non uniforme, souvent en raison d'effets de convection difficiles à traiter avec des systèmes de distribution de chaleur uniformes. Heureusement, les lasers proche infrarouge (NIR) à fibre d'IPG Photonics peuvent être configurés de manière flexible pour offrir une large gamme de possibilités de distribution d'énergie qui répondent au mieux aux exigences de processus spécifiques.
Par exemple, un procédé épi incorpore des flux de gaz complexes sur une plaquette chauffée en rotation rapide afin d'obtenir des taux de dépôt uniformes. Cet environnement dynamique est mieux pris en compte par de nombreuses zones de chauffage gérées individuellement sur la surface de la plaquette, comme le montre la vidéo ci-dessus.
Pour en savoir plus sur le concept de chauffage laser des plaquettes, vous pouvez visionner une présentation du processus ici.
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