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美国西部半导体展 2024

2024 年 7 月 9-11 日

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展会

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美国

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加利福尼亚州旧金山

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SEMICON West 汇集了令人难以置信的多样化全球电子供应链,通过突出市场情报、标准、可持续发展、劳动力发展、SEMI 大学、供应链管理等项目,应对半导体生态系统的更大机遇和挑战。SEMI 成员公司共同提供设备、材料、软件、器件和服务,通过技术创造一个更加智能的世界。 

SEMICON West 汇集了令人难以置信的多样化全球电子供应链,通过突出市场情报、标准、可持续发展、劳动力发展、SEMI 大学、供应链管理等项目,应对半导体生态系统的更大机遇和挑战。SEMI 成员公司共同提供设备、材料、软件、器件和服务,通过技术创造一个更加智能的世界。 

在美国西部半导体展(SEMICON West)上亮相

IPG 展示可持续、经济高效的激光硅片加热器 

IPG Photonics(展位号:5338)宣布基于其市场领先的 DLS-ECO 加热器平台,开发出一种高效、可靠和可持续的激光技术,该技术能够降低硅晶片加热的能耗和维护成本。970nm DLS-ECO 辐射可直接被硅晶片高效吸收,因此很少有能量损耗到周围的腔室中。

Simulations and experimental data show that <20kW of optical energy is required to heat a 300mm silicon wafer to 800°C in under 10sec, while <15kW of power is needed to maintain that high temperature. The optical energy is delivered by optical fiber, enabling the laser chassis to operate outside of the cleanroom environment where utilities such as cooling wafer are easily provided. The DLS-ECO operates at 55% electrical-to-optical conversion efficiency, minimizing total energy consumption by the process, while maintenance-free operation is anticipated for at least a seven year, uninterrupted period of operation.

作为一种技术成熟的加热解决方案,DLS-ECO 硅片加热器能够解决硅片加热的能源和维护成本问题,为未来可持续发展的硅片工厂提供了及时的解决方案。

进一步了解 DLS ECO