"深紫外 "通常是指波长短于 300 纳米(nm)的紫外激光。光纤激光以红外光束(约 1000 纳米)为起点,通过波长或频率倍增过程实现深紫外波长。通过非线性晶体聚焦红外激光束,波长精确减半,从而产生二次谐波。重复这一过程可再次将波长减半,从而将光纤激光器的波长范围扩展到四次谐波。
与更常用的红外线和可见光波长激光器相比,深紫外激光器在特定应用中具有重要优势。与更可靠、更易于集成的光纤激光器结构相结合,深紫外波长激光器在各行各业的应用越来越广泛。深紫外激光器在微加工、半导体制造、先进或科学应用等众多应用中发挥着至关重要的作用。