二极管激光器已成为晶圆加热的可持续高效解决方案，为芯片制造商提供了优化生产的机会。与红外灯加热器一样，激光加热器也是利用红外光，但激光加热器具有显著的优势，它能更快地达到目标温度，提供出色的均匀性，降低能耗，并且几乎不会浪费能源来加热周围的腔室或大气。

使用波长为 975 nm 的二极管激光器进行的实验表明，它能够在 9 秒内将 200 mm 的硅晶片加热到 800 摄氏度，同时在整个加热过程中保持稳定的温度。研究的经验模型表明，这项技术可以有效地扩展到更大的 300 毫米硅片，为二极管激光加热作为硅片加热解决方案提供了令人信服的理由。

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