Sichtbares Lichtbild eines 200-mm-Siliziumwafers, der mit einem Laser auf 800 °C erhitzt wurde.
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IPG Photonics entwickelt nachhaltige, kosteneffiziente Laserheizung für Silizium-Wafer
IPG Photonics hat eine neue Lasertechnologie entwickelt, die das Verfahren zur Erwärmung von Siliziumwafern für Halbleiterhersteller verbessern soll. Bei der Lasererwärmung, die sich für eine Vielzahl von Prozessen in zahlreichen Branchen als sehr vorteilhaft erwiesen hat, wird das Material entweder mit fokussierten oder projizierten Laserstrahlen behandelt, um vergleichsweise große Flächen gleichmäßig zu erwärmen.
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
DLS-ECO-Laserheizquellen arbeiten mit einem Wirkungsgrad von 55 % bei der Umwandlung von elektrischer in optische Energie und minimieren so den Energieverbrauch. Die optische Energie wird über Glasfasern zugeführt, so dass die Laserquelle auch außerhalb der Reinraumumgebung betrieben werden kann, wo Versorgungseinrichtungen wie Kühlwasser problemlos bereitgestellt werden können. Die Lösung zur Erwärmung von Siliziumwafern wird voraussichtlich mindestens sieben Jahre lang wartungsfrei arbeiten.
Wenn Sie mehr darüber erfahren möchten, warum Diodenlaser die ideale Lösung für die Wafererwärmung sind, klicken Sie hier, um den vollständigen Artikel aus dem Silicon Semiconductor Magazine zu lesen.
Über IPG Photonics
IPG Photonics Corporation ist führend bei Hochleistungs-Faserlasern und -Verstärkern, die vor allem in der Materialbearbeitung und anderen vielfältigen Anwendungen eingesetzt werden. Das Unternehmen hat es sich zur Aufgabe gemacht, seine Faserlasertechnologie zum Mittel der Wahl in der Massenproduktion zu machen. IPG erfüllt diese Aufgabe, indem es überragende Leistung, Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit bei geringeren Gesamtbetriebskosten im Vergleich zu anderen Lasertypen und Nicht-Laser-Werkzeugen bietet, wodurch die Endanwender ihre Produktivität steigern und ihre Kosten senken können. IPG hat seinen Hauptsitz in Marlborough, Massachusetts, und verfügt über mehr als 30 Niederlassungen weltweit.
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
DLS-ECO-Laserheizquellen arbeiten mit einem Wirkungsgrad von 55 % bei der Umwandlung von elektrischer in optische Energie und minimieren so den Energieverbrauch. Die optische Energie wird über Glasfasern zugeführt, so dass die Laserquelle auch außerhalb der Reinraumumgebung betrieben werden kann, wo Versorgungseinrichtungen wie Kühlwasser problemlos bereitgestellt werden können. Die Lösung zur Erwärmung von Siliziumwafern wird voraussichtlich mindestens sieben Jahre lang wartungsfrei arbeiten.
Wenn Sie mehr darüber erfahren möchten, warum Diodenlaser die ideale Lösung für die Wafererwärmung sind, klicken Sie hier, um den vollständigen Artikel aus dem Silicon Semiconductor Magazine zu lesen.
Über IPG Photonics
IPG Photonics Corporation ist führend bei Hochleistungs-Faserlasern und -Verstärkern, die vor allem in der Materialbearbeitung und anderen vielfältigen Anwendungen eingesetzt werden. Das Unternehmen hat es sich zur Aufgabe gemacht, seine Faserlasertechnologie zum Mittel der Wahl in der Massenproduktion zu machen. IPG erfüllt diese Aufgabe, indem es überragende Leistung, Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit bei geringeren Gesamtbetriebskosten im Vergleich zu anderen Lasertypen und Nicht-Laser-Werkzeugen bietet, wodurch die Endanwender ihre Produktivität steigern und ihre Kosten senken können. IPG hat seinen Hauptsitz in Marlborough, Massachusetts, und verfügt über mehr als 30 Niederlassungen weltweit.