In diesem Video stellt IPG Photonics ein Lasererwärmungskonzept vor, das einen flexiblen Heizzonenansatz verwendet. Es gibt Prozesse, die eine ungleichmäßige Energiezufuhr erfordern, oft aufgrund von Konvektionseffekten, die mit gleichmäßigen Wärmeverteilungssystemen nur schwer zu bewältigen sind. Glücklicherweise können fasergespeiste Nahinfrarot (NIR)-Laser von IPG Photonics flexibel konfiguriert werden, um eine breite Palette von Energieverteilungsmöglichkeiten zu bieten, die spezifische Prozessanforderungen am besten unterstützen.

Bei einem Epi-Prozess beispielsweise werden komplexe Gasströme über einen schnell rotierenden, beheizten Wafer geleitet, um gleichmäßige Abscheidungsraten zu erzielen. Diese dynamische Umgebung lässt sich am besten durch zahlreiche individuell gesteuerte Heizzonen auf der Waferoberfläche erreichen, wie im obigen Video gezeigt.

Um mehr über das Konzept der Laser-Wafer-Erwärmung zu erfahren, können Sie sich hier einen Showcase des Prozesses ansehen.

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