레이저로 800°C로 가열한 200mm 실리콘 웨이퍼의 가시광선 이미지.
IPG 포토닉스, 지속 가능하고 비용 효율적인 실리콘 웨이퍼용 레이저 히터 개발
IPG 포토닉스는 반도체 제조업체의 실리콘 웨이퍼 가열 공정을 개선하기 위해 설계된 새로운 레이저 기술을 개발했습니다. 여러 산업 분야의 다양한 공정에서 상당한 이점을 입증한 레이저 가열은 집중 또는 투사된 레이저 빔으로 재료를 대상으로 하여 비교적 넓은 영역을 균일하게 가열합니다.
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
DLS-ECO 레이저 열원은 55%의 전기-광 변환 효율로 작동하여 에너지 소비를 최소화합니다. 광 에너지는 광섬유를 통해 전달되므로 냉각수와 같은 유틸리티가 쉽게 공급되는 클린룸 환경 밖에서도 레이저 소스를 작동할 수 있습니다. 실리콘 웨이퍼 가열 솔루션은 최소 7년 동안 유지보수 없이 중단 없이 작동할 수 있을 것으로 예상됩니다.
다이오드 레이저가 웨이퍼 가열에 이상적인 솔루션인 이유에 대해 자세히 알아보려면 여기를 클릭하여 Silicon Semiconductor 매거진의 전체 기사를 읽어보세요.
IPG 포토닉스 소개
IPG 포토닉스는 주로 재료 가공 및 기타 다양한 애플리케이션에 사용되는 고출력 파이버 레이저 및 증폭기 분야의 선도 기업입니다. 이 회사의 사명은 파이버 레이저 기술을 대량 생산에서 선택받는 도구로 만드는 것입니다. IPG는 다른 유형의 레이저 및 비레이저 도구에 비해 낮은 총소유비용으로 우수한 성능, 신뢰성 및 유용성을 제공하여 최종 사용자가 생산성을 높이고 비용을 절감할 수 있도록 함으로써 이러한 사명을 달성합니다. IPG는 매사추세츠주 말버러에 본사를 두고 있으며 전 세계에 30개 이상의 시설을 보유하고 있습니다.
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
DLS-ECO 레이저 열원은 55%의 전기-광 변환 효율로 작동하여 에너지 소비를 최소화합니다. 광 에너지는 광섬유를 통해 전달되므로 냉각수와 같은 유틸리티가 쉽게 공급되는 클린룸 환경 밖에서도 레이저 소스를 작동할 수 있습니다. 실리콘 웨이퍼 가열 솔루션은 최소 7년 동안 유지보수 없이 중단 없이 작동할 수 있을 것으로 예상됩니다.
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IPG 포토닉스 소개
IPG 포토닉스는 주로 재료 가공 및 기타 다양한 애플리케이션에 사용되는 고출력 파이버 레이저 및 증폭기 분야의 선도 기업입니다. 이 회사의 사명은 파이버 레이저 기술을 대량 생산에서 선택받는 도구로 만드는 것입니다. IPG는 다른 유형의 레이저 및 비레이저 도구에 비해 낮은 총소유비용으로 우수한 성능, 신뢰성 및 유용성을 제공하여 최종 사용자가 생산성을 높이고 비용을 절감할 수 있도록 함으로써 이러한 사명을 달성합니다. IPG는 매사추세츠주 말버러에 본사를 두고 있으며 전 세계에 30개 이상의 시설을 보유하고 있습니다.