세미콘 웨스트는 놀랍도록 다양한 글로벌 전자제품 공급망을 한데 모아 시장 정보, 표준, 지속가능성, 인력 개발, SEMI 대학, 공급망 관리 등의 프로그램을 통해 반도체 생태계의 가장 큰 기회와 도전 과제를 해결합니다. SEMI 회원사들은 더 스마트한 세상을 만드는 데 필요한 장비, 재료, 소프트웨어, 장치 및 서비스를 제공합니다.
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세미콘 웨스트에서 소개된 내용
IPG, 레이저를 이용한 지속 가능하고 비용 효율적인 실리콘 웨이퍼 히터 전시
IPG 포토닉스(5338번 부스)는 실리콘 웨이퍼 가열에 드는 에너지 소비와 유지보수 비용을 모두 절감할 수 있는 시장 선도적인 DLS-ECO 히터 플랫폼을 기반으로 고효율, 신뢰성, 지속 가능한 레이저 기술을 개발했다고 발표했습니다. 970nm DLS-ECO 방사선은 실리콘 웨이퍼에 효율적이고 직접적으로 흡수되므로 주변 챔버로 손실되는 에너지가 거의 없습니다.
Simulations and experimental data show that <20kW of optical energy is required to heat a 300mm silicon wafer to 800°C in under 10sec, while <15kW of power is needed to maintain that high temperature. The optical energy is delivered by optical fiber, enabling the laser chassis to operate outside of the cleanroom environment where utilities such as cooling wafer are easily provided. The DLS-ECO operates at 55% electrical-to-optical conversion efficiency, minimizing total energy consumption by the process, while maintenance-free operation is anticipated for at least a seven year, uninterrupted period of operation.
실리콘 웨이퍼 가열의 에너지 및 유지보수 비용을 모두 해결할 수 있는 기술적으로 성숙한 가열 솔루션인 DLS-ECO 웨이퍼 히터는 미래의 지속 가능한 웨이퍼 팹을 위한 시의적절한 솔루션을 제공합니다.
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