레이저 웨이퍼 가열 데모

이 동영상에서는 IPG 포토닉스가 200mm 실리콘(Si) 웨이퍼의 근적외선(NIR) 레이저 조명을 기반으로 한 웨이퍼 가열 개념을 시연합니다. 연구 결과에 따르면 웨이퍼 가열에 레이저 솔루션을 사용하면 에너지와 사이클 시간을 크게 절약할 수 있습니다.

레이저 가열에 내재된 에너지 절약 외에도 데모에 사용된 레이저 장비를 통해 추가적인 효율성이 실현됩니다. IPG DLS-ECO 근적외선 다이오드 레이저는 전기에서 투사된 빛으로 최소 55%의 전력 변환 효율을 제공합니다. 투사된 레이저 빔은 웨이퍼 주변 외부로 에너지가 유출되는 것을 최소화하도록 형성되어 챔버 대기와 벽을 가열하는 데 낭비되는 에너지를 최소화할 수 있습니다.

또한 레이저 에너지는 긴(최대 50m) 광섬유를 통해 전달되므로 열원이 클린룸 외부에 남아있을 수 있습니다. 대상 웨이퍼 표면을 제외하고는 공정 근처에서 상당한 열이 발생하지 않으므로 레이저 히터는 클린룸 유틸리티의 부하를 크게 줄여줍니다.