이 동영상에서 IPG 포토닉스는 유연한 가열 영역 접근 방식을 활용한 레이저 가열 개념을 보여줍니다. 균일한 열 분배 시스템으로는 해결하기 어려운 대류 효과로 인해 불균일한 에너지 투입이 필요한 공정이 종종 있습니다. 다행히도 IPG 포토닉스의 광섬유 전달 근적외선(NIR) 레이저는 특정 공정 요구 사항을 가장 잘 지원하는 광범위한 에너지 분배 가능성을 제공하도록 유연하게 구성할 수 있습니다.

예를 들어, 에피 공정은 균일한 증착 속도를 달성하기 위해 빠르게 회전하는 가열 웨이퍼 위에 복잡한 가스 흐름을 통합합니다. 이러한 동적 환경은 위 동영상에서 볼 수 있듯이 웨이퍼 표면의 수많은 개별적으로 관리되는 가열 구역을 통해 가장 잘 해결됩니다.

레이저 웨이퍼 가열 개념에 대해 자세히 알아보려면 여기에서 프로세스 쇼케이스를 볼 수 있습니다.

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