在这段视频中,IPG Photonics 介绍了一种利用灵活加热区方法的激光加热概念。有些过程需要不均匀的能量输入,这通常是由于对流效应造成的,而均匀的热分布系统很难解决这种问题。幸运的是,IPG Photonics 的光纤传输近红外 (NIR) 激光器可以灵活配置,以提供各种能量分布可能性,从而最好地支持特定的工艺要求。
例如,外延片制程在快速旋转的加热晶片上采用复杂的气流,以实现均匀的沉积率。这种动态环境的最佳解决方案是在晶片表面设置多个单独管理的加热区,如上面的视频所示。
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