在这段视频中，IPG Photonics 演示了基于近红外 (NIR) 激光照明 200 毫米硅 (Si) 晶圆的晶圆加热概念。我们的研究结果表明，使用激光解决方案进行晶圆加热可节省大量能源和周期时间。

除了激光加热固有的节能效果外，演示中使用的激光设备还实现了额外的效率。IPG DLS-ECO 近红外二极管激光器从电力到投射光的功率转换效率至少为 55%。投射激光束的形状可以最大限度地减少晶片外围的能量溢出，从而最大限度地减少加热腔室大气和腔室壁所浪费的能量。

此外，激光能量通过长达 50 米的光纤传输，使热源保持在洁净室之外。由于除了目标晶片表面外，加工过程附近不会产生大量热量，因此激光加热器对洁净室公用设施的负荷大大降低。

要了解有关硅晶片多区定点加热概念的更多信息，请点击此处观看该工艺的动画演示。

如需从激光加热专家那里了解更多信息，请联系我们。