SEMICON Westは、マーケットインテリジェンス、規格、持続可能性、人材開発、SEMI University、サプライチェーンマネジメント、その他多くのプログラムに焦点を当て、半導体エコシステムの最大の機会と課題に取り組むために、驚くほど多様な世界のエレクトロニクスサプライチェーンを結集します。SEMI会員企業は、よりスマートな世界を実現する技術を可能にする装置、材料、ソフトウェア、デバイス、サービスを提供しています。
SEMICON Westは、マーケットインテリジェンス、規格、持続可能性、人材開発、SEMI University、サプライチェーンマネジメント、その他多くのプログラムに焦点を当て、半導体エコシステムの最大の機会と課題に取り組むために、驚くほど多様な世界のエレクトロニクスサプライチェーンを結集します。SEMI会員企業は、よりスマートな世界を実現する技術を可能にする装置、材料、ソフトウェア、デバイス、サービスを提供しています。
セミコン・ウェストで特集
IPG、レーザによる持続可能でコスト効率の高いシリコンウェーハ加熱装置を出展
IPGフォトニクス(ブース5338)は、市場をリードするDLS-ECOヒータープラットフォームをベースに、シリコンウエハー加熱のエネルギー消費量とメンテナンスコストの両方を削減できる、高効率、高信頼性、持続可能なレーザ技術を開発したと発表した。波長970nmのDLS-ECO放射は、シリコンウエハーに効率よく直接吸収されるため、周囲のチャンバーにほとんどエネルギーが流出しない。
Simulations and experimental data show that <20kW of optical energy is required to heat a 300mm silicon wafer to 800°C in under 10sec, while <15kW of power is needed to maintain that high temperature. The optical energy is delivered by optical fiber, enabling the laser chassis to operate outside of the cleanroom environment where utilities such as cooling wafer are easily provided. The DLS-ECO operates at 55% electrical-to-optical conversion efficiency, minimizing total energy consumption by the process, while maintenance-free operation is anticipated for at least a seven year, uninterrupted period of operation.
シリコンウェーハ加熱のエネルギーコストとメンテナンスコストの両方に対応できる技術的に成熟した加熱ソリューションとして、DLS-ECOウェーハヒーターは、将来の持続可能なウェーハファブのためのタイムリーなソリューションを提供します。
DLS ECOの詳細