このビデオでは、IPGフォトニクスが近赤外（NIR）レーザー照射による200mmシリコン（Si）ウエハーの加熱コンセプトを紹介しています。IPGフォトニクスの成果は、ウェーハ加熱にレーザーソリューションを使用することで、魅力的なエネルギーとサイクルタイムの削減が可能であることを示唆しています。

レーザー加熱に固有のエネルギー節約だけでなく、デモで使用されたレーザー機器によってさらなる効率も実現されている。IPG DLS-ECO近赤外ダイオードレーザーは、電気から投影光への電力変換効率が少なくとも55%です。投影されたレーザービームは、ウェーハ外周へのエネルギーオーバースピルを最小化するように成形することができ、チャンバー雰囲気や壁を加熱する無駄なエネルギーを最小限に抑えることができます。

さらに、レーザーエネルギーは、熱源がクリーンルーム外に留まることを可能にする長さ（最大50m）のファイバー上で供給されます。ターゲットとなるウェーハ表面以外では、プロセス付近で大きな熱が発生しないため、レーザーヒーターはクリーンルームのユーティリティへの負荷を大幅に軽減します。

シリコンウエハー用のマルチゾーンスポット加熱コンセプトの詳細については、ここでプロセスのアニメーションを見ることができる。

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