レーザーにより800℃に加熱された200mmシリコンウェハーの可視光画像。
IPGフォトニクス、シリコンウェーハ用の持続可能でコスト効率の高いレーザーヒーターを開発
IPGフォトニクスは、半導体メーカーのシリコンウエハー加熱プロセスを改善するための新しいレーザー技術を開発した。レーザー加熱は、様々な産業分野の様々なプロセスで大きな利点を実証しており、集光または投影されたレーザービームで材料を狙い、比較的広い領域を均一に加熱します。
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
DLS-ECOレーザー加熱源は、55%の電気-光変換効率で動作し、エネルギー消費を最小限に抑えます。光エネルギーは光ファイバー経由で供給されるため、冷却水などのユーティリティが供給されやすいクリーンルーム環境外でレーザー光源を動作させることができる。このシリコンウエハー加熱ソリューションは、少なくとも7年間はメンテナンスフリーの連続運転が可能である。
ダイオード・レーザーがいかにウェハー加熱に理想的なソリューションであるかについては、ここをクリックしてSilicon Semiconductor誌の記事全文をお読みください。
IPGフォトニクスについて
IPGフォトニクス・コーポレーションは、主に材料加工やその他の多様なアプリケーションで使用される高出力ファイバーレーザーと増幅器のリーダーである。同社の使命は、ファイバーレーザー技術を大量生産で選ばれるツールにすることである。IPG社はこの使命を、他のタイプのレーザーや非レーザーツールと比較して低い総所有コストで優れた性能、信頼性、使いやすさを提供することで達成し、エンドユーザーの生産性向上とコスト削減を可能にしている。IPG社はマサチューセッツ州マールボロに本社を置き、世界中に30以上の施設を有しています。
The silicon wafer heating solution, based on the market-leading IPG DLS-ECO laser heating platform, dramatically reduces the energy consumption and maintenance costs of heating silicon wafers while also improving productivity. The 970 nm laser light is efficiently and directly absorbed by the silicon wafer, ensuring minimal energy is lost to the surrounding heating chamber. Simulations and experimental data demonstrate that less than 20 kW of optical energy is required to heat a 300 mm silicon wafer to 800° C in under 10 seconds while even less power (<15 kW) is needed to maintain the temperature.
DLS-ECOレーザー加熱源は、55%の電気-光変換効率で動作し、エネルギー消費を最小限に抑えます。光エネルギーは光ファイバー経由で供給されるため、冷却水などのユーティリティが供給されやすいクリーンルーム環境外でレーザー光源を動作させることができる。このシリコンウエハー加熱ソリューションは、少なくとも7年間はメンテナンスフリーの連続運転が可能である。
ダイオード・レーザーがいかにウェハー加熱に理想的なソリューションであるかについては、ここをクリックしてSilicon Semiconductor誌の記事全文をお読みください。
IPGフォトニクスについて
IPGフォトニクス・コーポレーションは、主に材料加工やその他の多様なアプリケーションで使用される高出力ファイバーレーザーと増幅器のリーダーである。同社の使命は、ファイバーレーザー技術を大量生産で選ばれるツールにすることである。IPG社はこの使命を、他のタイプのレーザーや非レーザーツールと比較して低い総所有コストで優れた性能、信頼性、使いやすさを提供することで達成し、エンドユーザーの生産性向上とコスト削減を可能にしている。IPG社はマサチューセッツ州マールボロに本社を置き、世界中に30以上の施設を有しています。