IPGイメージ

マルチゾーンスポットヒーティングのコンセプトデザイン

 

 

このビデオでは、IPGフォトニクスがフレキシブルな加熱ゾーンアプローチを利用したレーザー加熱コンセプトを紹介します。均一な熱分布システムでは対処が難しい対流効果による不均一なエネルギー入力を必要とするプロセスがよくあります。幸いなことに、IPGフォトニクスのファイバー伝送近赤外(NIR)レーザーは、特定のプロセス要件を最適にサポートする幅広いエネルギー分布の可能性を提供するために柔軟に構成することができます。

例えば、エピ・プロセスでは、均一な成膜速度を達成するために、急速に回転する加熱ウェーハ上に複雑なガスフローが組み込まれる。このダイナミックな環境には、上のビデオに示されているように、ウェーハ表面上の多数の個別に管理された加熱ゾーンが最適です。

レーザー・ウェハー・ヒーティング・コンセプトの詳細については、こちらでプロセスのショーケースをご覧ください。

レーザー加熱の専門家による詳細については、弊社までお問い合わせください。

IPGイメージ